第5章-精密加工中测量技术课件.ppt

针对这个需求我无法为你提供相应帮助。你可以尝试提供其他话题，我会尽力为你提供支持和解答。 1、一种技术叫精密与超精密加工技术，其主讲教师是李颂华，还有5.1部分是精密测量技术概述，5.2部分是测量基准，5.3部分乃直线度、平面度和垂直度的测量，5.4部分为角度和圆分度的测量，5.5部分有圆度和回转精度的测量，5.6部分是激光测量，5.7部分是自由曲面的测量，它们都在第5章精密范畴。

2、加工当中的测量技术，精密加工当中的测量技术，第第1 1节，精密测量技术的概述，精密测量技术是机械工业发展的基础，精密测量技术是机械工业发展的先决条件之一。精密测量技术是机械工业发展的基础，精密测量技术是机械工业发展的先决条件之一。有的作用，有的千分尺类量具原因，有的千分尺类量具原因，有的测微比较仪原因，有的使得加工精度达到什么程度，有的测微比较仪原因，有的使得加工精度达到什么程度，有的圆度仪等精密测量仪器原因，有的圆度仪等精密测量仪器原因，有的使得加工精度达到什么程度，有的激光干涉仪原因，有的使得加工精度达到什么程度，有的千分尺类量具，有的使得加工精度达到了0.01mm，有的千分尺类量具，有的使得加工精度达到了0.01mm，有的测微比较仪，有的使得加工精度达到了1m左右，有的测微比较仪，有的使得工加工精度达到了1m左右，有的圆度仪等精密测量仪器，有的使得加工精度达到了0.1m，有的激光干涉仪，有的使得加工精度达到了0.01m。目前，存在于基础工业的某些领域当中，精密测量已然成为了无法被分割开来而独立存在的部分，目前，是在基础工业的一些领域内部。

3、，精密测量已然成为了不可被分割掉的、极其重要的组成部分。于电子工业部门这个范畴之内，精密测量技术同样也被提升到了前所未有的高度上来。比如说制造超大规模集成电路这件事，当前半导体工艺的典型线宽是0.25m，正朝着0.18m进行过渡，2009年所预测的线宽是0.07m。除此之外，在高纯度单晶硅的晶格参数方面。此外，在高纯度单晶硅的晶格参数测量里，在对生物细胞的测量中，在对空气污染微粒的测量中，在对石油纤维的测量中，在对纳米材料等基础研究里，都毫无例外需要精密测量技术。

4、精密检测，乃是超精密加工所必要的手段。关键技术主要涵盖这些：其一，涉及几何尺寸的精密测量以及测量所用到的仪器；其二，包含表面质量检测技术以及相应的测量仪器；其三，是测量技术的集成。高的加工精度得靠高精密测量技术来保障，高的加工精度需高精密测量技术来确保 ，测出的精度通常会比加工精度高一个数量级 ，有高精度检测办法 ，检测位移方面有双频激光干涉测量仪，还有X射线干涉仪那精度可达0.1nm ，检测加工表面的有扫描隧道显微镜，以及原子力显微镜。

5、原子力显微镜，其精度可达0.1nm，这属于精密测量技术的新发展，精密测量技术有了新发展，极其高精度的检测方法以及仪器在发展，像扫描隧道显微镜，还有原子力显微镜。对于精密在线自动测量技术而言，它具备实时、动态、自动的特性，能够在一维空间以及三维空间里特别是任意复杂曲面实施自动测量，并且其测量数据自动采集处理技术也在不断发展，该技术涵盖测量数据采集、处理、显示以及打印等环节，这一过程借助微电子技术及计算机技术得以实现。另外，关于精密测量的环境条件，只有满足相应条件，才能够获得可靠的测量结果。

精密测量仪器和方法之外，还必有合适的测量环境，这是必要条件，恒温条件是其中之一，其标准温度为20。隔振条件也是必要条件，以避免振动，减小测量误差，并且还要考虑自重、气压、运动加速度和其他环境。如：有一根100mm长的钢棒，当它垂直和水平放置时，关于它长度的测量值是不一样的；当垂直放置的时候，其长度会缩短0.002m。又如：有一根1m长的钢棒，当其处于真空和大气环境中进行测量时，它长度的测量值同样是不同的；在真空环境下测量时，其长度会大0.3m。气体压力出现变化，物体存有加速度时，其长度测量值会产生不同。三、量具以及量仪材料的挑选方面，第一，依据材料热膨胀的系数来进行挑选，第二，按照材料的稳定性与耐磨性予以挑选。处于恒温计量室的情况之下，要挑选线膨胀系数尽可能小的；在温度波动幅度较大的车间当中，选用的量具线膨胀系数应当尽可能与被测件相近；氧化锆陶。