Kapitel 5 - Messtechnik in der Präzisionszerspanung Courseware.ppt

Ich kann Ihnen bei diesem Bedarf nicht entsprechend helfen. Sie können versuchen, andere Themen zur Verfügung zu stellen, und ich werde mein Bestes tun, um Sie mit Unterstützung und Antworten zu versorgen. 1, eine Technologie namens Präzisions-und Ultrapräzisions-Bearbeitungstechnik, seine wichtigsten Lehrer ist Li Songhua, gibt es 5.1 Teil der Präzisionsmessung Technologie Überblick, 5.2 Teil der Messung der Benchmark, 5.3 Teil der Geradheit, Ebenheit und Rechtwinkligkeit der Messungen, 5.4 Teil der Winkel und die Messung der kreisförmigen Indexierung, 5.5 Teil der Rundheit und der rotierenden Genauigkeit der Messungen, 5.6 Teil der Laser-Messung, 5.7 Teil der freien Messung von Oberflächen, und sie sind alle in der Präzisionskategorie von Kapitel 5.

2, Verarbeitung in der Messtechnik, Präzisionsverarbeitung in der Messtechnik, Abschnitt 1 1, der Überblick über die Präzisionsmesstechnik, Präzisionsmesstechnik ist die Grundlage für die Entwicklung der Maschinenindustrie, Präzisionsmesstechnik ist eine der Voraussetzungen für die Entwicklung der Maschinenindustrie. Die Präzisionsmesstechnik ist die Grundlage für die Entwicklung des Maschinenbaus, die Präzisionsmesstechnik ist eine der Voraussetzungen für die Entwicklung des Maschinenbaus. Es gibt Rollen, gibt es Mikrometer Klasse Messgerät Gründe, gibt es Mikrometer Klasse Messgerät Gründe, gibt es Mikrometer Komparator Gründe, gibt es macht die Bearbeitungsgenauigkeit in welchem Umfang, gibt es Mikrometer Komparator Gründe, gibt es macht die Bearbeitungsgenauigkeit in welchem Umfang, gibt es Rundheit Instrument und andere Präzisionsmessgeräte Gründe, gibt es Rundheit Instrument und andere Präzisionsmessgeräte Gründe, gibt es macht die Bearbeitungsgenauigkeit in welchem Umfang, gibt es Laser Interferometer Gründe, einige machen die Verarbeitung Genauigkeit in welchem Umfang, einige Mikrometer-Klasse Lehren, einige machen die Verarbeitung Genauigkeit von 0,01mm, einige Mikrometer-Klasse Lehren, einige machen die Verarbeitung Genauigkeit von 0,01mm, einige Mikro-Komparator, einige machen die Verarbeitung Genauigkeit von 1m oder so, einige Mikro-Komparator, einige machen die Verarbeitung Genauigkeit von etwa 1m, einige Rundheit Instrument und andere Präzision Messgeräte, einige machen die Verarbeitungsgenauigkeit von 0,1 m, einige Laser-Interferometer, einige machen die Verarbeitungsgenauigkeit von 0,01 m. Derzeit ist die Existenz von einigen Bereichen der Grundstoffindustrie, Präzisions-Messung hat sich zu einem Teil, der nicht in separaten und unabhängig von der Existenz eines Teils der Grundstoffindustrie, derzeit ist es in der Grundstoffindustrie innerhalb einer Reihe von Bereichen aufgeteilt werden können.

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(3) Die Präzisionsmessung ist zu einem unverzichtbaren und äußerst wichtigen Bestandteil geworden. Auch in der Elektronikindustrie hat die Präzisionsmesstechnik einen nie dagewesenen Aufschwung genommen. Zum Beispiel, die Herstellung von ultra-großen integrierten Schaltungen, die aktuelle Halbleiter-Prozess typische Linienbreite ist 0,25 m, in Richtung 0,18 m für den Übergang, die Linienbreite im Jahr 2009 vorhergesagt wird 0,07 m. Darüber hinaus in der Gitter-Parameter von hochreinen Einkristall-Silizium. Darüber hinaus werden Präzisionsmessverfahren für die Messung der Gitterparameter von hochreinem einkristallinem Silizium, für die Messung biologischer Zellen, für die Messung von Luftverschmutzungspartikeln, für die Messung von Erdölfasern und für die Grundlagenforschung zu Nanomaterialien benötigt, ohne Ausnahme.

4) Die Präzisionsprüfung ist das notwendige Mittel für die Ultrapräzisionsbearbeitung. Die Schlüsseltechnologie umfasst im Wesentlichen folgende Bereiche: erstens die Präzisionsmessung geometrischer Abmessungen und die Messung des verwendeten Instruments; zweitens die Technologie zur Prüfung der Oberflächenqualität und die entsprechenden Messgeräte; drittens die Integration der Messtechnik. Hohe Bearbeitungsgenauigkeit muss auf hochpräzise Messtechnik verlassen, um sicherzustellen, dass hohe Bearbeitungsgenauigkeit muss hochpräzise Messtechnik, um sicherzustellen, dass die gemessene Genauigkeit ist in der Regel höher als die Bearbeitungsgenauigkeit von einer Größenordnung, gibt es hochpräzise Erkennungsmethoden, die Erkennung der Verschiebung von Dual-Frequenz-Laser-Interferometrie, sowie die Röntgen-Interferometer, dass die Genauigkeit von bis zu 0,1 nm, die Erkennung von bearbeiteten Oberflächen haben Rastertunnelmikroskop, sowie das Rasterkraftmikroskop.

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5, Rasterkraftmikroskop, seine Genauigkeit von bis zu 0,1nm, die auf die neue Entwicklung der Präzisions-Messtechnik gehört, hat die Präzisions-Messtechnik eine neue Entwicklung, extrem hohe Präzision Nachweisverfahren und Instrumente in der Entwicklung, wie Rastertunnelmikroskop, sowie Rasterkraftmikroskop. Für Präzisions-Online-automatische Messtechnik, hat es in Echtzeit, dynamisch, automatische Eigenschaften, kann in eindimensionalen Raum und dreidimensionalen Raum, vor allem jede komplexe Oberfläche Umsetzung der automatischen Messung, und ihre Messdaten automatische Erfassung und Verarbeitung Technologie ist auch die Entwicklung, die Technologie umfasst die Messung der Datenerfassung, Verarbeitung, Anzeige und Druck und andere Aspekte dieses Prozesses mit Hilfe der Mikroelektronik-Technologie und Computer-Technologie realisiert werden kann. Was die Umgebungsbedingungen der Präzisionsmessung betrifft, so können nur dann zuverlässige Messergebnisse erzielt werden, wenn die entsprechenden Bedingungen erfüllt sind.

Zusätzlich zu den Präzisionsmessgeräten und -methoden muss eine geeignete Messumgebung vorhanden sein, was eine notwendige Bedingung ist, und eine konstante Temperaturbedingung ist eine von ihnen, und die Standardtemperatur ist 20. Vibrationsisolationsbedingung ist auch eine notwendige Bedingung, um die Vibration zu vermeiden und den Messfehler zu reduzieren, und auch das Eigengewicht, den Luftdruck, die Bewegungsbeschleunigung und andere Umgebungen zu berücksichtigen. Zum Beispiel: eine 100mm lange Stahlstange, wenn es vertikal und horizontal platziert ist, die Messung der Länge ist nicht das gleiche, wenn sie vertikal platziert ist, wird seine Länge um 0,002m verkürzt werden. Ein weiteres Beispiel: es gibt eine 1m lange Stahlstange, wenn es in einem Vakuum und atmosphärischen Umgebung für die Messung ist, die Messung der Länge ist auch anders, in der Messung der Vakuum-Umgebung, wird seine Länge um 0,3m größer sein. gas Gasdruck ändert, hat das Objekt Beschleunigung, die Länge des gemessenen Wertes wird anders sein. Drittens, die Auswahl der Messgeräte und Messgeräte Materialien, erstens, nach dem Koeffizienten der thermischen Ausdehnung des Materials ausgewählt werden, zweitens, nach der Stabilität des Materials und Verschleißfestigkeit ausgewählt werden. Im Falle der konstanten Temperatur-Messraum, um die linearen Ausdehnungskoeffizienten so klein wie möglich zu wählen; in der Temperaturschwankung Amplitude der Werkstatt, die Auswahl des Messgeräts linearen Ausdehnungskoeffizienten sollte so nah wie möglich an die gemessenen Teile, Zirkoniumdioxid-Keramik sein.

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