Forschung über zusammengesetzte Methoden der Präzisionsbearbeitung von Mikroteilen auf der Grundlage der Beschichtungstechnologie Hu Xiaoqiu Wu Xiaotian Yuan Juntang Yu Binbin Nanjing University of Science and Technology, Nanjing, 2 1 0 0 9 4 Zusammenfassung: Die üblicherweise verwendeten Methoden der Präzisionsbearbeitung von Mikroteilen und ihre Probleme werden analysiert.