第5章 - 精密加工における測定技術 コースウェア.ppt

私は、このニーズに対して適切なお手伝いができません。あなたは他のトピックを提供しようとすることができ、私はサポートと答えを提供するために全力を尽くします。 1、精密と超精密加工技術と呼ばれる技術、その主な講師は李松華で、5.1精密測定技術の概要の部分、5.2基準の測定の部分、5.3測定の真直度、平面度、垂直度の部分、5.4角度と円割り出しの測定の部分、5.5測定の真円度と回転精度の部分、5.6レーザー測定の部分、5.7自由曲面の測定の部分があります。5.6、レーザー測定の一部、5.7 の自由曲面測定の一部であり、これらはすべて第 5 章の精度の部類に入る。

2、測定技術の処理、測定技術の精密加工、セクション1 1、精密測定技術の概要、精密測定技術は、機械産業の発展のための基礎であり、精密測定技術は、機械産業の発展のための前提条件の一つです。精密測定技術は機械工業の発展の基礎であり、精密測定技術は機械工業の発展の前提条件の一つである。理由は、あるものは加工精度をどこまで作るか、あるものはマイクロメーター級ゲージ、あるものは0.01mmの加工精度を作るか、あるものはマイクロメーター級ゲージ、あるものは0.01mmの加工精度を作るか、あるものはマイクロコンパレータ、あるものは1m程度の加工精度を作るか、あるものは真円度測定器と他の精密現在、基礎産業の一部の領域の存在は、精密測定は、分離して独立した基礎産業の一部の存在に分けることができない部分となっている、現在、それはいくつかの領域の中で基礎産業である。

3.精密測定は、今や欠くことのできない極めて重要な要素となっている。このカテゴリーに属するエレクトロニクス産業分野においても、精密測定技術はかつてない高みへと昇華している。例えば、超大規模集積回路の製造では、現在の半導体プロセスの典型的な線幅は0.25mであり、0.18mに移行するため、2009年に予測される線幅は0.07mである。また、高純度単結晶シリコンの格子定数測定、生体細胞の測定、大気汚染微粒子の測定、石油繊維の測定、ナノ材料の基礎研究においても、例外なく精密測定技術が求められている。

4、精密検査は超精密加工に必要な手段である。第一に、幾何学的寸法の精密測定と使用器具の測定を含む；第二に、表面品質検査技術と対応する測定器具を含む；第三に、測定技術の統合である。高い加工精度は、測定された精度は、通常、桁の加工精度よりも高いことを保証するために高精度測定技術である必要があることを保証するために高精度測定技術に頼らなければならない、高精度な検出方法は、二周波レーザー干渉計の変位の検出だけでなく、0.1 nmまでの精度は、加工面の検出は、走査型トンネル顕微鏡だけでなく、原子間力顕微鏡を持っているX線干渉計があります。

5、原子間力顕微鏡、その精度は0.1nmまで、精密測定技術の新たな発展に属し、精密測定技術は、走査型トンネル顕微鏡だけでなく、原子間力顕微鏡などの開発では、新しい開発、非常に高精度の検出方法と機器を持っています。精密オンライン自動測定技術については、リアルタイム、ダイナミック、自動特性を持って、一次元空間と三次元空間、特に自動測定の任意の複雑な表面の実装にすることができ、その測定データの自動取得と処理技術も発展している、技術は、マイクロエレクトロニクス技術とコンピュータ技術の助けを借りて、このプロセスのデータ収集、処理、表示、印刷などの側面をカバーする測定が実現することができます。また、精密測定の環境条件については、対応する条件が満たされて初めて信頼できる測定結果が得られる。

精密測定器や測定方法だけでなく、適切な測定環境も必要な条件であり、恒温条件もその一つで、その標準温度は20℃である。振動を避けて測定誤差を減らすために、防振条件も必要な条件であり、自重、気圧、運動加速度などの環境も考慮する。例えば：長さ100mmの棒鋼を縦に置いた場合と横に置いた場合、長さの測定値は同じではありません；縦に置いた場合、長さは0.002m短くなります。別の例：長さ1mの棒鋼があり、真空環境と大気環境で測定する場合、長さの測定値も異なります；真空環境の測定では、長さは0.3m大きくなります。ガスの圧力が変化し、オブジェクトが加速度を持って、測定値の長さが異なることになります。第三に、測定器やゲージの材料の選択は、まず、選択する材料の熱膨張係数に応じて、第二に、材料の安定性と耐摩耗性に応じて選択する。定温測定室の場合には、できるだけ小さな線膨張係数を選択する;ワークショップの温度変動振幅では、ゲージの線膨張係数の選択は、測定された部品にできるだけ近くする必要があります;ジルコニアセラミック。