コーティング技術に基づくマイクロ部品の精密加工の複合方法に関する研究 胡 小秋 呉 小天 元 軍塘 余 彬彬 南京科技大学、南京、2 1 0 0 9 4 要旨：マイクロ部品の精密加工で一般的に使用されている方法とその問題点を分析した。